摘要：針對自由曲面光學元件離軸像差小，應用廣泛，但檢測難度大，加工精度不夠高等特點，對現行的自由曲面光學檢測方法進行了分析。提出了在自由曲面光學元件的不同加工階段宜采用不同的檢測手段，根據加工的步驟依次采用三坐標機、輪廓儀、光學干涉測量等方法為好。介紹了子孔徑拼接技術的發(fā)展，敘述了利用計算全息 (CGH)和反射光柵攝影測量法檢測光學自由曲面等兩種有著良好發(fā)展前景的方法。最后 ,給出了利用 CGH檢測三次位相板的實例。 8pXului  

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