光柵式
傳感器指采用光柵疊柵條紋
原理測(cè)量位移的傳感器。光柵是由大量等寬等間距的平行狹縫構(gòu)成的
光學(xué)器件。
m.w.h^f$& 1 i/&t[ 一般常用的光柵是在
玻璃片上刻出大量平行刻痕制成，刻痕為不透光部分，兩刻痕之間的光滑部分可以透光，相當(dāng)于一狹縫。精制的光柵，在1cm寬度內(nèi)刻有幾千條乃至上萬條刻痕。
:4/37R(~l8 u:M)JG N '~l,{ 這種利用透射光
衍射的光柵稱為透射光柵，還有利用兩刻痕間的反射光衍射的光柵，如在鍍有金屬層的表面上刻出許多平行刻痕，兩刻痕間的光滑金屬面可以反射光，這種光柵成為反射光柵。由光柵形成的疊柵條紋具有光學(xué)放大作用和誤差平均效應(yīng)，因而能提高測(cè)量
精度。
;- 6 4#lOAzDtv k%%0"+y#a 光柵傳感器由標(biāo)尺光柵、指示光柵、光路
系統(tǒng)和測(cè)量系統(tǒng)四部分組成。標(biāo)尺光柵相對(duì)于指示光柵移動(dòng)時(shí)，便形成大致按正弦規(guī)律分布的明暗相間的疊柵條紋。
<CGABlZ H& !? c5 這些條紋以光柵的相對(duì)運(yùn)動(dòng)速度移動(dòng)，并直接照射到
光電元件上，在它們的輸出端得到一串電脈沖，通過放大、整形、辨向和計(jì)數(shù)系統(tǒng)產(chǎn)生數(shù)字信號(hào)輸出，直接顯示被測(cè)的位移量。
