衡量微透鏡光學(xué)質(zhì)量的性能參數(shù)有很多，對于折射微透鏡有焦距、表面粗糙度、陣列均勻性等物理參數(shù)和點擴(kuò)散函數(shù)等光學(xué)性能參數(shù)，而對于衍射微透鏡有衍射效率這一重要參數(shù)。目前，針對微透鏡參數(shù)的測量方法有多種，如干涉法、CCD直接成像法、哈特曼波前傳感器測量法、刀口振動法、莫爾法、泰伯效應(yīng)法等等，各種方法所利用的光學(xué)原理各不相同，也各有優(yōu)缺點。 8ED6C"6  
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微透鏡陣列的填充因子ρ是指單元元件的有效通光面積S_0與單元總面積S_total的比值，它決定了元件對光能的匯聚和發(fā)散能力。填充因子與元件的形狀和排列方式有關(guān)，如采用圓孔徑，傳統(tǒng)的正交排列微透鏡陣列的填充因子最大為78．5%，六邊形排列微透鏡陣列的填充因子最大為90%。而采用方形孔徑和六邊形孔徑填充方式，理論上填充因子可達(dá)到100%，但由于透鏡孔徑邊緣處面形誤差的存在使得其有效折光能力下降，填充因子會降低。面形輪廓的控制范圍越大，則加工誤差越小，填充因子就越高。 AtSEKpKc  
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表面粗糙度表征了微單元表面上的平整度。由于微光學(xué)元件在加工過程中包括多個工藝步驟，而且光刻膠、基片及去離子水的潔凈度的高低，或在光刻過程中都會影響元件表面的粗糙度。 g1Aq;Ah 唐海县| 岳池县| 盐亭县| 湖南省| 长丰县| 抚顺市| 双江| 洱源县| 彭阳县| 普安县| 建阳市| 崇左市| 建德市| 循化| 孝义市| 噶尔县| 崇仁县| 鄄城县| 芜湖市| 达州市| 天峻县| 长顺县| 焦作市| 临海市| 新源县| 曲麻莱县| 闽清县| 赞皇县| 孝义市| 曲松县| 隆昌县| 祥云县| 宜阳县| 灌云县| 阜城县| 宁海县| 察隅县| 电白县| 页游| 本溪| 武宁县|