光學(xué)自由曲面因其表面自由度較大，可以針對(duì)性地提供或矯正不同的軸上或軸外像差，同時(shí)滿足現(xiàn)代光學(xué)系統(tǒng)高性能、輕量化和微型化的要求，逐漸成為現(xiàn)代光學(xué)工程領(lǐng)域的熱點(diǎn)。自由曲面的檢測(cè)技術(shù)已經(jīng)成為制約其應(yīng)用的最重要因素，而目前精密光學(xué)自由曲面的檢測(cè)手段仍然沿用非球面檢測(cè)方法。本文回顧了近年來的自由曲面檢測(cè)發(fā)展歷程，對(duì)目前主流的非接觸式檢測(cè)方法（微透鏡陣列法，結(jié)構(gòu)光三維檢測(cè)法，相干層析術(shù)，干涉檢測(cè)法）進(jìn)行了重點(diǎn)介紹；總結(jié)了非球面檢測(cè)方法運(yùn)用到自由曲面檢測(cè)中的技術(shù)難點(diǎn)，同時(shí)結(jié)合這些技術(shù)難點(diǎn)，展望了自由曲面檢測(cè)的未來發(fā)展新趨勢(shì)，主要集中在非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱像差的動(dòng)態(tài)補(bǔ)償、分區(qū)域像差的回程誤差校準(zhǔn)及子孔徑拼接技術(shù)。
