①DOME溫度過高，可以嘗試降低溫度。 bb*c+XN0  
②預清潔功率過大或時間過長，造成基板表面粗糙度增大引起發(fā)霧。 vM5k4%D  
③H4和MGF2鍍增透膜的話，可以溫度設定在300℃左右。

ouyuu:沒人覺得是散射嗎？ O=4ceEmz  
問題還在結晶上，試著調整一下鍍膜溫度和速率，還有充氧。 ]
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其實有離子源會更好些。 (2017-08-21 17:22)  V1UUAvN7s  

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溫度、速率還有充氧具體要像哪個方向調節(jié)呢，比如說沖多點氧還是少點

dcfcwdx:溫度、速率還有充氧具體要像哪個方向調節(jié)呢，比如說沖多點氧還是少點 (2018-08-30 13:27)  9$\;voo  

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這個只有自己慢慢試。改變條件可以改變結晶大小，但是哪個更好要自己試的。

問題弄好了嗎？

起霧有時候不一定是膜的問題。玻璃基片洗不凈的情況下也有可能導致起霧，玻璃認真清潔或者用手擦拭后鍍膜試一下。

鍍膜溫度過高，氧化鈦高溫下結晶發(fā)霧！

發(fā)蒙或者發(fā)霧可以從工藝和膜料入手排查原因，如果只鍍氟化鎂和H4的話，問題應該在H4上面

會不會溫度過高

還有你的基底材料是什么？加了離子源沒有？

膜外⽩霧 cD`O+WA2K  
現象：鍍膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩霧，⽤丙酮或混合液擦拭，會有越擦越嚴重的現象。 UrcN?  
⽤氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（⼜稱：可擦拭壓克） WKIiJ{@L  
分析：膜外⽩霧的成因較為復雜，可能的成因有： 7fTg97eF  
① 膜結構問題：外層膜的柱狀結構松散，外層膜太粗糙； ,f0g|5yDf  
② 蒸發(fā)⾓過⼤，膜結構粗糙。 \y )4`A  
③ 溫差：鏡⽚出罩時內外溫差過⼤ @o
c%4~zl  
④ 潮⽓；鏡⽚出罩后擺放環(huán)境的潮⽓ E 遂昌县| 福鼎市| 缙云县| 慈利县| 三河市| 西乌珠穆沁旗| 韶山市| 潮州市| 喀什市| 大冶市| 莱州市| 苏尼特左旗| 桃园县| 哈巴河县| 西乌珠穆沁旗| 开平市| 武山县| 马尔康县| 遵义县| 日喀则市| 册亨县| 松阳县| 中宁县| 河间市| 汽车| 晋州市| 定州市| 金溪县| 长海县| 莱州市| 台南市| 金寨县| 梅河口市| 隆德县| 濮阳市| 司法| 枣强县| 靖西县| 长沙县| 湛江市| 株洲县|