①DOME溫度過高，可以嘗試降低溫度。 -x?I6>{  
②預清潔功率過大或時間過長，造成基板表面粗糙度增大引起發(fā)霧。 t+?m<h6w;l  
③H4和MGF2鍍增透膜的話，可以溫度設定在300℃左右。

ouyuu:沒人覺得是散射嗎？ l{o,"P"  
問題還在結晶上，試著調整一下鍍膜溫度和速率，還有充氧。 {TL.2  
其實有離子源會更好些。 (2017-08-21 17:22)  tg%#W`  

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溫度、速率還有充氧具體要像哪個方向調節(jié)呢，比如說沖多點氧還是少點

dcfcwdx:溫度、速率還有充氧具體要像哪個方向調節(jié)呢，比如說沖多點氧還是少點 (2018-08-30 13:27)  d%za6=M  

E|vXM"zFl  
這個只有自己慢慢試。改變條件可以改變結晶大小，但是哪個更好要自己試的。

問題弄好了嗎？

起霧有時候不一定是膜的問題。玻璃基片洗不凈的情況下也有可能導致起霧，玻璃認真清潔或者用手擦拭后鍍膜試一下。

鍍膜溫度過高，氧化鈦高溫下結晶發(fā)霧！

發(fā)蒙或者發(fā)霧可以從工藝和膜料入手排查原因，如果只鍍氟化鎂和H4的話，問題應該在H4上面

會不會溫度過高

還有你的基底材料是什么？加了離子源沒有？

膜外⽩霧 c'wU$xt.w  
現(xiàn)象：鍍膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩霧，⽤丙酮或混合液擦拭，會有越擦越嚴重的現(xiàn)象。 !iW>xo  
⽤氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（⼜稱：可擦拭壓克） 
c-
ql  
分析：膜外⽩霧的成因較為復雜，可能的成因有： 0CK3jdZ+X  
① 膜結構問題：外層膜的柱狀結構松散，外層膜太粗糙； HbJ^L:/  
② 蒸發(fā)⾓過⼤，膜結構粗糙。 A}(o1wuw  
③ 溫差：鏡⽚出罩時內外溫差過⼤ dEZlJo@J  
④ 潮⽓；鏡⽚出罩后擺放環(huán)境的潮⽓ plM:7#eA  
⑤ 真空室內POLYCOLD解凍時⽔汽過重
'%y;{,g*  
⑥ 蒸鍍中充氧不完全，膜結構不均勻 J=k=cFUX  
⑦ 膜與膜之間的應⼒ ,
w3-*z  
改善思路：膜外⽩霧成因很多，但各有些特征，盡量對癥下藥。主要思路，⼀是把膜做的致密 f:ObI  
光滑些不容易吸附，⼆是改善環(huán)境減少吸附的對象。 Q
A*<$v  
改善對策： BdF/(Pg  
㈠ 改善膜系，外層加⼆氧化硅，使膜表⾯光滑，不易吸附。改善鏡⽚出罩時的環(huán)境（⼲燥、清 w.a9}GC  
潔） !*Eu(abD  
㈡ 降低出罩時的鏡⽚溫度（延長在真空室的冷卻時間）減少溫差、降低應⼒。 7HBf^N.  
㈢ 改善充氧（加⼤），改善膜結構。 -(]CFnD_N  
㈣ 適當降低蒸發(fā)速率，改善柱狀結構 &29jg_'W  
㈤ 離⼦輔助鍍膜，改善膜結構 Hd\V?#H  
㈥ 加上polycold解凍時的⼩充⽓閥（其功能是及時帶⾛⽔汽） 9$HBKcO 巨野县| 土默特左旗| 新密市| 阿鲁科尔沁旗| 宝兴县| 莱州市| 凉城县| 澄城县| 罗山县| 专栏| 赤城县| 图木舒克市| 兴海县| 舟山市| 通城县| 白城市| 弥勒县| 寿光市| 铜鼓县| 襄汾县| 巫溪县| 玉门市| 华坪县| 聊城市| 霞浦县| 奎屯市| 大田县| 乡城县| 东台市| 利津县| 新巴尔虎左旗| 宜良县| 碌曲县| 九龙城区| 清徐县| 青田县| 宜兰县| 武胜县| 孝感市| 卓尼县| 莒南县|