基于白光干涉法測(cè)量微光柵形貌及相關(guān)幾何參量的研究 LS}dt?78`V
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基于顯微白光干涉術(shù)，利用掃描干涉顯微鏡對(duì)四臺(tái)階面陣微光柵記錄了128幅白光干涉圖，并分別運(yùn)用重心法、空間頻域算法、移相算法及包絡(luò)曲線擬合法對(duì)掃描干涉圖進(jìn)行了分析處理。被測(cè)微光柵的形貌及周期在各算法下均完全吻合，臺(tái)階總高最大相差0.8%。同時(shí)，用美國Veeco白光輪廓儀對(duì)同一樣品的形貌及光柵周期進(jìn)行了測(cè)試，數(shù)據(jù)顯示兩者結(jié)果非常吻合，僅臺(tái)階總高相差0.7%。研究結(jié)果表明，所采用的四種算法均適用于微觀三維形貌的測(cè)量。
