非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池主要采用摻氟氧化錫（FTO）導(dǎo)電玻璃作為基板，但FTO薄膜霧度較低、表面形貌無(wú)法優(yōu)化，導(dǎo)致無(wú)法得到較優(yōu)的陷光結(jié)構(gòu)，從而限制了太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率。為了進(jìn)一步提升太陽(yáng)能電池的轉(zhuǎn)換效率，探討了替代型的摻鋁氧化鋅（AZO）薄膜，通過(guò)優(yōu)化前段磁控濺射鍍膜工藝和后段濕化學(xué)蝕刻工藝，用以平衡AZO薄膜的光電性能和霧度，從而獲得具有理想表面形貌的AZO導(dǎo)電玻璃，使其成為理想的非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池的基板材料。實(shí)驗(yàn)表明，經(jīng)工藝優(yōu)化后制作的AZO導(dǎo)電玻璃可提升光電轉(zhuǎn)換效率。
