一臺新的鍍膜機，在不知道折射率，沒有補正板，不知道均勻性等的情況下，應該如何進行調(diào)試啊？步驟我知道，但是就是不知道具體該如何做，比如先做材料折射率，拿五氧化三鈦為例，在沒有具體的折射率情況下，用多大的折射率去做單層，單層的厚度設(shè)計多少，做出來后怎樣進行修正計算實際的折射率，具體的教程誰有啊？另外知道折射率了，在做均勻性時，修正板要如何修剪？ K;qZc\q  
求指點。 6a?y$+pr  

補正板作成資料C.zip (384 K) 下载次数:360 補正板作成資料C.zip (384 K) 下载次数:360 h)rf6*hw  
先看一下附件，新柯隆的補正板做成資料。 >, E$bm2  
寫的比較詳細了。

另外，要做單層時，先確認一下你的分光儀測量范圍和手頭的光學軟件是否可以用，里面有多少材料庫，不夠的話去查一下自己做材料。（推薦麥克勞德，當然TFC也可以） Fnpn_O XlH  
一般單層厚度在測量范圍內(nèi)3～5個PEAK（用光學軟件模擬一下就可以知道）。 XO#)i6}G  
SiO2一般折射率變化不會太大，所以直接用光學軟件的折射率也可以。 $NT9LtT@K  
（還有就是有些分光儀分辨率不高，做出來的SiO2曲線毛刺很多，反倒不如軟件里的折射率準確） tb0E?&M  
做的話多用幾個坩堝，一個坩堝做很厚的膜層不好（打坑深了分布變了修正板就不準了）

1.設(shè)定初參數(shù)：溫度、真空、充氧、離子源、速率，這個可以參考或詢問； SECQVA_y`  
V;-.38py  
2.鍍單層膜  基板選擇圓平片，一班鍍3-5個極值； I#X2UQzP  
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3.修均勻性和計算折射率同步進行；高低材料均勻性交替修 cXcx_-  
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