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    [求助]新鍍膜機(jī)如何調(diào)試 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2017-09-12
    一臺新的鍍膜機(jī),在不知道折射率,沒有補(bǔ)正板,不知道均勻性等的情況下,應(yīng)該如何進(jìn)行調(diào)試啊?步驟我知道,但是就是不知道具體該如何做,比如先做材料折射率,拿五氧化三鈦為例,在沒有具體的折射率情況下,用多大的折射率去做單層,單層的厚度設(shè)計多少,做出來后怎樣進(jìn)行修正計算實際的折射率,具體的教程誰有啊?另外知道折射率了,在做均勻性時,修正板要如何修剪? t^qPQ;"=,  
    求指點(diǎn)。 C/Dc1sj  
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2017-09-12
    補(bǔ)正板作成資料C.zip (384 K) 下载次数:360 補(bǔ)正板作成資料C.zip (384 K) 下载次数:360 agFWye  
    先看一下附件,新柯隆的補(bǔ)正板做成資料。 .q1OT>  
    寫的比較詳細(xì)了。
    離線ouyuu
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2017-09-12
    另外,要做單層時,先確認(rèn)一下你的分光儀測量范圍和手頭的光學(xué)軟件是否可以用,里面有多少材料庫,不夠的話去查一下自己做材料。(推薦麥克勞德,當(dāng)然TFC也可以) 8ctUK|  
    一般單層厚度在測量范圍內(nèi)3~5個PEAK(用光學(xué)軟件模擬一下就可以知道)。 C{ {DZ*  
    SiO2一般折射率變化不會太大,所以直接用光學(xué)軟件的折射率也可以。 gekW&tRie  
    (還有就是有些分光儀分辨率不高,做出來的SiO2曲線毛刺很多,反倒不如軟件里的折射率準(zhǔn)確) qmcLG*^,  
    做的話多用幾個坩堝,一個坩堝做很厚的膜層不好(打坑深了分布變了修正板就不準(zhǔn)了)
    離線fly6947
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2017-09-13
    1.設(shè)定初參數(shù):溫度、真空、充氧、離子源、速率,這個可以參考或詢問; t>h<XPJi  
    QUp()B1  
    2.鍍單層膜  基板選擇圓平片,一班鍍3-5個極值; -So&?3,\A@  
    \w!G  
    3.修均勻性和計算折射率同步進(jìn)行;高低材料均勻性交替修 `}KK@(Y  
    SB1\SNB  
    4.修好均勻性后根據(jù)折射率計算tooling; z6 v RTY  
    iO;q]  
    5.驗證膜層的光學(xué)及非光學(xué)性能;有異常者重新修改參數(shù)并重復(fù)2-4過程
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2017-09-14
    回 fly6947 的帖子
    fly6947:1.設(shè)定初參數(shù):溫度、真空、充氧、離子源、速率,這個可以參考或詢問;
    2.鍍單層膜  基板選擇圓平片,一班鍍3-5個極值;
    3.修均勻性和計算折射率同步進(jìn)行;高低材料均勻性交替修 s,N%sO;  
    ....... (2017-09-13 11:28)  za'Eom-<u  
    `f}c 1  
    謝謝。不過說的流程我大概知道,就是不會具體的操作,比如我設(shè)計了單層,也鍍了;出來特性也測了,如何計算折射率?
    離線ouyuu
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 2017-09-14
    折射率和吸收兩個要一起用軟件算的。 n[CESo%[  
    你先說說手頭有什么軟件? U;:>vi3p  
    每種軟件的使用方法不一樣。 _(3VzI'G  
    如果你只要結(jié)果的話,直接把特性CSV文件壓縮發(fā)上來,有空幫你算。 /}r%DND'  
    *nluK  
    |Rw0$he  
    [ 此帖被ouyuu在2017-09-14 23:51重新編輯 ]
    離線fly6947
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    只看該作者 6樓 發(fā)表于: 2017-09-15
    樓上大神說得對,
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 2017-09-16
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:折射率和吸收兩個要一起用軟件算的。 z J93EtlF  
    你先說說手頭有什么軟件? E#v}//  
    每種軟件的使用方法不一樣。 SGre[+m~m  
    如果你只要結(jié)果的話,直接把特性CSV文件壓縮發(fā)上來,有空幫你算。
    ....... (2017-09-14 22:19)  O;9u1,%w  
    d^mw&F)S  
    麥克勞德、TFC都有
    離線ouyuu
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 2017-09-16
    光學(xué)薄膜講習(xí)資料(王編譯).rar (813 K) 下载次数:242 }pdn-#  
    我居然以前還翻譯過這個資料…… @)1>ba  
    ,Md8A`7x~  
    一般我的資料都是免費(fèi)提供。 SE.r 'J0  
    但是這次付出的時間比較多,所以出售5個幣。 u,AP$+Qk  
    其實你網(wǎng)上找一下應(yīng)該是有資料的,麥克勞德的資料百度上還挺多的。 DDQ}&`s  
    aUa.!,_dh  
    你也可以問版主CYQDESIGN買一本麥克勞德的中文說明書,大概400元吧。 ug{@rt/"Z  
    這樣做事方便很多,公司出錢應(yīng)該沒有問題吧。 *`Swv`  
    /2l&D~d"  
    -0r 0M )  
    \@;$xdA$  
    [ 此帖被ouyuu在2017-09-16 22:00重新編輯 ]
    離線futurebright
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 2017-09-21
    很好的學(xué)習(xí)資料 86Hg?!<i.  
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