很有用學(xué)習(xí)下

1.空心陰極離子鍍原理 W8^A{l4  
在本底真空為高真空的條件下，由陰極中通入氬器氣（1-10-2） | CFG<]  
在陰極與輔助陽極之間加上引弧電壓，使氬氣發(fā)生輝光放電，在空心陰極內(nèi)產(chǎn)生低壓等離子體放電，陰極溫度升高到2300-2400K時(shí)，由冷陰極放電轉(zhuǎn)為熱陰極放電，開始熱電子發(fā)射，放電轉(zhuǎn)為穩(wěn)定狀態(tài)。通入反應(yīng)氣體，可以制化合膜。 u|}\
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2.測控濺射工作原理 El9T>!Z  
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先將真空室預(yù)抽至10-3Pa，然后通入氣體（如氬氣），氣壓為1-10 Pa時(shí)，給靶加負(fù)電壓，產(chǎn)生輝光放電，電子在電場正作用下加速飛向基片時(shí)，與氬原子碰撞，電離出Ar和另一個(gè)電子； 3v_j*wy  
轟擊靶材，由二次電子電離的 越來越多，不斷轟擊靶材；磁場改變電子的運(yùn)動(dòng)方向，以電磁場束縛和延長電子的運(yùn)動(dòng)軌跡，從而提高電子對工作氣體的電離幾率。 c\o_U9=n  
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3.多弧離子鍍工作原理 B)@X
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其工作原理為冷陰極自持弧光放電，其物理基礎(chǔ)為場致發(fā)射。 MV$E_@pg  
被鍍材料接陰極，真空室接陽極，真空室抽為高真空時(shí)，引發(fā)電極啟動(dòng)器，接觸拉開，此時(shí)，陰極與陽極之間形成穩(wěn)定的電弧放電，陰極表面布滿飛速游動(dòng)的陰極斑，部分離子對陰極斑的轟擊使其變成點(diǎn)蒸發(fā)源，以若干個(gè)電弧蒸發(fā)源為核心的為多弧離子鍍。 ]>)shH=Yx
 
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