針對(duì)不同厚度的鎳膜以及金膜，利用多物理場(chǎng)耦合分析軟件COMSOL Multiphysics研究了波長(zhǎng)248 nm、矩形脈沖寬度14 ns激光輻照損傷閾值隨膜厚變化的物理過(guò)程。本研究與他人的理論計(jì)算和實(shí)驗(yàn)測(cè)得的結(jié)果基本一致，研究表明：在高強(qiáng)度單脈沖激光均勻輻照下，金屬薄膜表面的損傷主要是由于激光能量在其材料內(nèi)部的沉積而導(dǎo)致的熱效應(yīng)引起的；當(dāng)金屬薄膜的厚度小于其光學(xué)吸收長(zhǎng)度時(shí)（鎳膜厚度 < 8 nm，金膜厚度 < 12 nm），其熔融損傷閾值隨著薄膜厚度的增加而減小；當(dāng)薄膜厚度大于光學(xué)吸收長(zhǎng)度而小于其熱擴(kuò)散長(zhǎng)度時(shí)（鎳膜厚度8~730 nm，金膜厚度12~1 050 nm），其熔融損傷閾值隨薄膜厚度增加而線性增加；當(dāng)薄膜厚度大于其熱擴(kuò)散長(zhǎng)度時(shí)（鎳膜厚度 > 730 nm，金膜厚度 > 1 050 nm），其熔融損傷閾值隨薄膜厚度的增大基本保持不變。
