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[求助]深紫外用的材料 [復(fù)制鏈接]

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離線zl6172

技術(shù)員

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2017-10-30

突然有個(gè)朋友有150nm的應(yīng)用
我知道的到紫外這塊還能透光的就是石英，結(jié)果發(fā)現(xiàn)石英在200nm下以開(kāi)始極度衰減，而到了160nm已經(jīng)不透光了。
那么求問(wèn)200nm以內(nèi)還有哪些材料能用呢

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離線chenhongjk

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2017-12-11

這里面有片文章講到了深紫外及其玻璃，可以去了解下，也許有用

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離線yifeng602

技術(shù)員

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2018-03-28

這個(gè)也不知道

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離線清零

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2018-05-07

螢石，但在這個(gè)波長(zhǎng)，存在雙折射現(xiàn)象

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離線875192871

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2018-07-06

MgF2和CaF2 也許可以這兩種材料在150nm處的透過(guò)率都在70%左右，不過(guò)也存在雙折射現(xiàn)象

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