各位前輩 先進(jìn) 大家好 A(}D76o_  
關(guān)於EB製程(不使用IAD)部分 _2~+%{/m,  
在高溫(280度)不使用IAD的情控下，麻點(diǎn)該如何避免產(chǎn)生 \ Dccf_(Pb  
可以控制的參數(shù)很少 cP2n,>:  
頂多就 真空、鍍率、氣體 除此之外還有甚麼改善的部分嗎???

麻點(diǎn)有很多因素。 9(pF!}1%\  
改善抽氣和放氣（延長(zhǎng)緩粗抽和緩放棄的時(shí)間），可以減少氣流帶到鏡片的粉塵數(shù)量。 :zp9L/eh  
改善預(yù)熔藥的溶藥制程（甚至溶藥后再放置鏡片），可以減少粉塵源。 =k\Qx),Ir  
電子槍如果有二次電子（電子槍轟擊藥物后反射的電子）抑制器，可以減少鏡片的靜電，減少粉塵沾染。 )Nt'Z*K*  
另外，腔室的清潔很重要，如果每次都換鋁膜，那也能改善很多。

主要還是查看一下膜料吧！另外就是腔體里出現(xiàn)掉膜的部位需要及時(shí)清理，還要防止膜料的互相影響。