光行天下>光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備>關(guān)於 EB 製程(不使用IAD)

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[討論]關(guān)於 EB 製程(不使用IAD) [復(fù)制鏈接]

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離線rexchou

技術(shù)員

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2017-11-20

各位前輩先進(jìn) 大家好
關(guān)於EB製程(不使用IAD)部分
在高溫(280度)不使用IAD的情控下，麻點(diǎn)該如何避免產(chǎn)生
可以控制的參數(shù)很少
頂多就真空、鍍率、氣體除此之外還有甚麼改善的部分嗎???

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離線ouyuu

論壇版主

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2017-11-20

麻點(diǎn)有很多因素。
改善抽氣和放氣（延長(zhǎng)緩粗抽和緩放棄的時(shí)間），可以減少氣流帶到鏡片的粉塵數(shù)量。
改善預(yù)熔藥的溶藥制程（甚至溶藥后再放置鏡片），可以減少粉塵源。
電子槍如果有二次電子（電子槍轟擊藥物后反射的電子）抑制器，可以減少鏡片的靜電，減少粉塵沾染。
另外，腔室的清潔很重要，如果每次都換鋁膜，那也能改善很多。

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rexchou

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熱心助人，鼓勵(lì)！

2017-11-23

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離線奔跑的小駿馬

助理工程師

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2017-11-22

主要還是查看一下膜料吧！另外就是腔體里出現(xiàn)掉膜的部位需要及時(shí)清理，還要防止膜料的互相影響。

共1條評(píng)分，光幣+1

rexchou

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精彩回帖，獎(jiǎng)勵(lì)！

2017-11-23

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