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光行天下 -> Macleod,TFCalc -> 材料N值和K值 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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oprs999

2018-02-23 17:00

材料N值和K值

求各位大神指點迷津

怎么才可以獲取正確的材料N值和K值

我現(xiàn)在的方法是鍍一個5k的膜，然后先測裸片監(jiān)控片的反射率，再測鍍膜后的監(jiān)控片反射率，導(dǎo)入到MAC里去算N和K，但是把材料回推回去看光譜還是和實測的光譜不一樣，這里面的原因是啥？

我的想法是機(jī)臺鍍膜隨著時間的推移每一層的膜N和K都不一樣。

前題是我是用晶控去控制，不是光控。

洋洋0109	2018-05-11 15:54
我夜想知道！

huangweipeng	2018-05-16 22:09
同求！！！！！

ruby6843	2018-05-27 13:14
我是用穿透量測(吸收考量) 4E$6&,\ 鍍5Q膜厚 4?`#DPl 先以macleod求出基板N與K bM,%+9oz; 再求出藥材N與K q) eeN

js2700	2018-06-14 22:06
同求TFC計算 Tooling值的方法

knight627	2018-08-06 13:46
這個可以探討,特別誤差在金屬上面例如TI等,誤差很大,真實的n和k導(dǎo)出來!我覺得主要根電子槍關(guān)系大,

johnyu	2018-08-13 17:24
5k?unit是什麼?5000nm? RHI?_gf&