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yixiangren 2006-12-12 05:01

晶體感應(yīng)片(Crystal Sensor)

性能說明: # X/Q  
Quartz晶體感應(yīng)片是至今為止制造的電氣產(chǎn)品中最敏感的產(chǎn)品。用于薄膜涂層時可以檢測到1微微米(1兆分之1)大小的范圍。這類似于1原子厚度的涂膜層。同時,晶體對熱很敏感,可以對1/100度以下的溫度變化作出反應(yīng)。并且,Quartz晶體感應(yīng)片在完成階段中對應(yīng)力反應(yīng)敏感,可以探測到原子的移動,這一原子的移動是在典型的光學(xué)鍍膜作業(yè)中,鍍膜于晶體上的薄膜發(fā)生冷卻時發(fā)生。你也許會對像光學(xué)鏡片鍍膜一樣的大規(guī)模作業(yè)中用這種敏感的感應(yīng)片怎樣進(jìn)行作業(yè)產(chǎn)生疑問。 HO5d%85  
簡單地說可以勉強(qiáng)地進(jìn)行作業(yè)。除了GOLD及鋁或SILVER一樣應(yīng)力低的物質(zhì)以外,其他大部分的鍍膜工藝立即就能把感應(yīng)片毀壞。像MgF2那樣代表性的防止反射鍍膜工藝是用高溫(超過300度)和高的應(yīng)力(晶體上鍍膜的薄膜冷卻時發(fā)生)給感應(yīng)片雙重致命打擊。晶體暫時裸露在MgF2時可以看到在RATE或厚度上以陽離子形式進(jìn)行不規(guī)則反應(yīng)的情況。像Zirconium或chromium一樣應(yīng)力高的金屬膜也是一樣的。 {mSJUK?TKl  
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