| ouyuu |
2018-09-06 00:20 |
關(guān)于鍍膜發(fā)霧的一些解釋
薄膜對光有反射，透過，吸收，散射等作用。 ?
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薄膜發(fā)霧（對于因為基板本身臟或者帶電吸附粉塵等問題此處略過）一般是因為散射。 NgaX&m`
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散射一般分為：瑞利散射，米氏散射，幾何光學(xué)近似 wyMj^+ 2m
散射發(fā)生的位置一般分為：表面（和空氣接觸面），界面（層與層的過渡面），粒子（結(jié)晶） A<C`JN}
表面和界面發(fā)生的散射一般是因為真空度過低造成的，適當(dāng)提高真空度可以改善。 NU-({dGK}
界面的散射還可以提高離子源能量（用離子源將表面打平）來改善。 ?PO~$dUc]
結(jié)晶造成的散射，則需要靠改變溫度來調(diào)整結(jié)晶大小。 l(-6pP5`
S>Z V8
具體問題具體分析，這個需要自己來判斷。其實解決問題的過程，也是自我學(xué)習(xí)自我提高的過程。
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