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1111111111	2018-09-19 13:32
關(guān)于可見光區(qū)域400nm-700nm增透膜牢固度現(xiàn)在工藝一：ti3o5+soi2+ti3o5+soi2+ti3o5+soi2 溫度：280℃，真空度：2.0E-3帕。牢固度差，超聲波打了以后，膜層會脫落 Cj"k Fq4 Pw1V1v&>q 工藝二：MGF2+TIO2+MGF2+TIO2+MGF2+TIO2溫度：280℃，真空度：2.0E-3帕，手工擦以后，會起霧

yzhuang	2018-09-20 14:13
從你提供的參數(shù)看沒覺得哪里有問題，你是不是可以第一層用SiO2試試，對曲線影響很小，也許可以改善結(jié)合力。 QJTGeJ Y

ouyuu	2018-09-21 00:12
第一種工藝，鍍膜前離子源用Ar打一下。增加附著力

knight627	2018-09-22 11:20
,看你工藝參數(shù)沒任何問題,正常來講不會說用超聲波洗下就脫膜.個人建議1.用表面溫度計實測溫度2.檢測機器是否有異常,如果有擴散泵是否返油 3,測下鍍膜實際折射率,是否槍的問題.4.基底表面清潔重點看1,2

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