| yzhuang |
2018-10-10 16:47 |
MgF2的鍍膜參數(shù)討論
一般情況下，如果是一個超寬帶增透膜，就增透效果來說，最好的低折射率材料MgF2，但是關(guān)于MgF2的鍍膜，溫度基本上要300攝氏度左右最佳，參考資料是不能加離子源，300攝氏度鍍膜抽真空時間會變得較長，且如果高折射率材料是Ta2O5的話，對于使用電子槍蒸發(fā)而言，必須進行離子源輔助才會得到基本無吸收薄膜，如果高折射率材料是Ti3O5的話，300攝氏度可能會有結(jié)晶，吸收也有可能會增加。這就跟MgF2的鍍膜產(chǎn)生了沖突，我曾經(jīng)進行過加APS源嘗試，但無論怎么改變源的參數(shù)，還是避免不了吸收，我想看看大家是怎么做的，希望能得到一個最佳的做法。
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