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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計,工藝與設(shè)備 -> 鈦的折射率問題 [點此返回論壇查看本帖完整版本]

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wpawj	2018-12-07 16:35
鈦的折射率問題請問下，同一膜料氧化鈦計算出來的折射率高低跟哪些因素有關(guān)系？比如鍍膜機倉體大小？

ds1234567	2018-12-07 22:00
與溫度有關(guān)

wpawj	2018-12-07 22:40
ds1234567:與溫度有關(guān)?(2018-12-07 22:00)? FjLv*K[#d GGQ(\|?w 我這里2350鍍膜機測的鈦折射率2.01

lgflgf2012	2018-12-08 10:45
溫度，蒸發(fā)速率，真空度，離子源參數(shù)等等，應(yīng)該就這些了吧

knight627	2018-12-08 15:17
這個差別大了,固定機臺,一個工藝參數(shù),然后用橢偏儀去測,才是實在

ouyuu

2018-12-10 15:48

不管你是用氧化鈦，二氧化鈦，五氧化三鈦。
蒸發(fā)到最后都是想得到一個物質(zhì)，但是就鍍膜穩(wěn)定性來講，五氧化三鈦的穩(wěn)定性應(yīng)該是最好的。

我感覺有可能：
1，充氧不夠，形成的物質(zhì)少氧，此時應(yīng)該加大充氧量。
2，致密度不夠，往往是因為離子源的能量不夠。此時應(yīng)該加大離子源能量，加高溫度，降低蒸發(fā)速率。
3，材料有問題。換一個材料看看

ouyuu

2018-12-10 19:10

你去百度文庫查下《鍍膜材料基礎(chǔ)知識》
里面有詳細的說明，2350這種機型應(yīng)該是溫度達不到300度的（這么大，如果溫度太高，真空殼體會變形）也沒有那么高能量的離子源。
一般鍍鈦的設(shè)備最大1600mm，要配最大口徑的射頻源，而且外圈通常是扔掉的。
如果要做穩(wěn)定，一般是1350這樣的大小。

hunter999	2019-03-28 17:25
hao dongxi !

dididida	2019-10-24 11:46
6666666666 ]

jiangxinwu	2020-04-28 14:04
真空度。溫度，離子源參數(shù)，每個機型都不一樣

wflney	2020-04-29 22:29
溫度，蒸發(fā)速率，真空度，離子源參數(shù)

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