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optics1210

2019-01-24 14:59

從零開始設(shè)計的微光刻透鏡：SYNOPSYS 光學設(shè)計軟件

q&d~ \{J
你現(xiàn)在使用的電腦有一個中央處理器，它的晶圓片是用一個非常復雜的鏡頭曝光加工而來的。這類鏡頭可能含有20或30個以上的鏡片組成，是世界上最精細的鏡頭。如果你想更好的學習光學設(shè)計，這將是一個好的學習例子。本課將給出一個學習例子。 u7=U^}#
鏡片數(shù)22片 '}$Dgp6e
物高31mm 4^URX>nx8
物方數(shù)值孔徑NA 0.2 aE2.L;Tk?
波長為UV NQ6sGL
像方晶圓尺寸是12.66mm NC38fiH_N
總長小于1200mm F;]%V%F.X
這種透鏡在物體和圖像上都是有限共軛的，最好分兩步設(shè)計。首先，我們將為左半部分設(shè)計一個鏡片組，可以讓光束經(jīng)過遮光罩，光束到中心后被準直。然后我們將為右半部分設(shè)計第二個鏡片組，將準直光束成像到晶圓片上。 {D=@n4JO
首先，我們將使用DSEARCH為左半部分設(shè)計出11個鏡片的鏡頭，輸入的命令如下：

I(XOE$3
      Here is the input for DSEARCH: YIjTL!bA"
      CORE 14 TIME tPF.r
      DSEARCH 2 QUIET N ,z6y5Lu
8w.YYo8`
      SYSTEM rEF0oJ.
      ID DSEARCH LEFT UNI MM 4]E3cAJ
      OBA 15 31 3 31 cb}[S:&|
      OSNA .2 TCO _F`lq_C
      WAVL .354732 .354712 .354692 AFOC rvw)-=qR[
      END Gh}*q|Lz
@mfEKU!
      GOALS ELEM 11 )+6MK(<"
      TOTL 600 .1 F|!){=
      TOPD .01 5D'\b}*lJ}
      NPASS 50 ctGL-kp
      QUICK 20 50 \o^2y.q:>
      ANNEAL 50 10 Q r >nG@A
      SNAP 10 VzVc37Z>6
      RSTART 1000 $b mLu=9
      ASTART 25 *I0T{~
      THSTART 12 g pOC`=
1aTB%F
      FOV 0 .5 .707 1 OtNd,U.dE
      FWT 1 1 1 1 END &oX>*6L
      SPECIAL PANT ;&)-;l7M
      CBOUNDS 1.88 -6.57 1.49 78.55 [D4Es
      FBOUNDS 1.92 22.16 1.50 62.67 Ll4g[8
      CUL 1.6 c3CWRi`LE
      FUL 1.6 END