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光行天下 -> GLAD,LASCAD,ASLD -> GLAD中光刻成像系統(tǒng)的建模 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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xunjigd

2019-03-15 16:56

GLAD中光刻成像系統(tǒng)的建模

概述

該系統(tǒng)由一個(gè)聚光鏡、一個(gè)傾斜球體和一個(gè)Schwartzchild設(shè)計(jì)的中繼鏡組成。光源被成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會(huì)聚，在中繼透鏡的光瞳處形成點(diǎn)像。在中繼透鏡的瞳孔處，多條條紋圖案將形成一個(gè)中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示：