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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 為什么我做的增透膜去清洗后就脫膜？ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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ychm1002	2007-01-30 11:45
為什么我做的增透膜去清洗后就脫膜？我用的是SiO2/JBM1/TiO2/SiO2 基底溫度是２５０度 bPe\|/wp 前幾天我的基底溫度是２６０度，但不脫膜～～１０度應(yīng)該不會(huì)至于脫膜吧 pOe"S 希望各位高手指教　謝謝！！！

zmc326	2007-03-23 14:33
兄弟：增透膜的蒸鍍溫度一般都是300度左右呀，你的溫度這么低，不脫才怪呢。

nolla68	2007-03-24 10:34
那有很多關(guān)係,其中基板的清潔是相當(dāng)重要的,另外鍍膜時(shí)的真空(gas in)及其他的因素都會(huì)導(dǎo)致脫膜

wangxingyu	2007-04-08 15:10
看看離子源有沒(méi)有問(wèn)題

wolfliu	2007-04-09 16:41
學(xué)到了知識(shí)呀，論壇就是好哇

lgciom	2007-04-09 21:20
如果基底實(shí)際溫度達(dá)到了250，一般增透膜的溫度已經(jīng)夠了。脫膜的因素很多，先看看返不返油吧

gp11	2007-04-22 21:09
加溫的時(shí)間夠不夠，玻璃尺寸大的話最好到300度，持續(xù)1個(gè)半小時(shí)

清洗小卒	2007-05-08 04:14
清洗力度不夠也會(huì)造成脫膜，不過(guò)還是和鍍膜時(shí)的溫度有很大的關(guān)系

jojo_g	2007-05-16 23:02
脫膜。。。增透基地溫度要在250度以上基地清潔度要高！

dede	2012-02-16 00:06
JBM1是什么？ G(;C~kHX 可能是返油了，或者真空度不好 npJyVh47

伏龍之	2012-02-29 20:51
大長(zhǎng)見(jiàn)識(shí)

wh_f	2012-03-04 20:00
學(xué)到了不少啊

shenyuning	2012-03-27 20:08
我覺(jué)得可能是基片沒(méi)有清洗好，

sailinger	2012-03-31 15:18
如果你堅(jiān)持這個(gè)溫度，基片清潔度是一個(gè)需要考慮的方面

li728826	2012-04-01 01:22
qqqqqqqqqq

漂亮的樹(shù)	2012-07-13 10:18
把溫度和真空度調(diào)高試試

luffy17520	2013-03-31 17:07
可能溫度引起的吧

chen1858	2013-04-01 21:20
學(xué)習(xí)了！ ^O9_dP:

louyc	2013-05-21 09:55
膜層不牢固，原因很多，慢慢查吧

腐之大儒	2013-10-04 12:14
因素很多仔細(xì)排查吧

wm1024528	2013-10-09 20:43
請(qǐng)問(wèn)鍍完后，用什么方法檢測(cè)膜層牢靠性？ B9&$sTAB 另外之前是260度，不脫模，為什么改用250度呢？

wangguofeng	2013-10-22 09:44
溫度低，清洗功率大。

27676995	2013-10-30 22:33
學(xué)學(xué)習(xí)習(xí)

flyinlove79	2013-11-16 23:04
除了樓上幾位說(shuō)的，還要注意膜層的應(yīng)力是不是匹配

crl0129	2013-11-26 16:45
脫膜的因素很多

韓笑1234	2013-11-27 09:50
我想知道用什么方法可以檢測(cè)鍍膜的牢靠性

小冰水	2014-03-18 22:14
15284151451

yangyangyang	2014-06-17 20:01
看來(lái)大家用的油擴(kuò)散泵比較多，怪不得一爐要那么久。 s_p\ bl. 如果我和你們說(shuō)我現(xiàn)在一爐40分鐘，你們誰(shuí)信，哈哈。 \|@+/R .l 你的問(wèn)題在于以下幾點(diǎn)： wUj#ACqB 1，腔室的潔凈做好沒(méi)有？