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optics1210

2019-05-17 11:41

AANT文件中基于方差的像差

摘自User's Manual 10.3.1.3節(jié)
波前方差是像質(zhì)的有用度量，VARIANCE命令可以計算方差、標準偏差、X和Y中的圖像點。后兩個量給出了參考球面中心的位置，在該位置方差被最小化，如果該分析是多色的，從所請求的色差或主色差的主要光線點測量。這是對衍射圖樣的峰值位置的一個有用的近似，只要OPD誤差小于一個波長。對于畸變非常重要的透鏡，比如顯微光刻物鏡，我們希望控制這個位置，而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個更常見的目標。本節(jié)描述的像差允許我們這樣做。格式是:
M TAR WT A { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS
M TAR WT A { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS
M TAR WT A { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS
M TAR WT A { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS