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shenrui 2019-05-18 15:33

曲面結構上鍍增透膜工藝及設計

PC材質上鍍一層增透膜,結構為曲面,曲面直徑12mm,曲面深度5mm,要求透過率小于0.5%,且最外層為SiO2,其他無要求 82qoGSD.  
求實現(xiàn)方法包含工藝設計和膜系設計 Y%aCMP9j~9  
opticsrain 2019-05-18 19:07
曲面樣品的成膜方法和平板樣品基本一樣,但是一般只能保證頂點的特性。 膜設計也使用和平板同樣的即可,但是最佳膜厚會和平板樣品稍有不同。
shenrui 2019-05-19 09:32
好的,感謝大神指導 xY8$I6  
ouyuu 2019-05-19 20:58
這種曲率只能用行星盤做,或者濺射機做。
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