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2019-05-18 18:20 |
自由曲面光學(xué)的超精密加工技術(shù)及其應(yīng)用
摘要：突破傳統(tǒng)光學(xué)成像系統(tǒng)設(shè)計理論和方法,將自由曲面引入光學(xué)成像系統(tǒng)中,極大地提高了系統(tǒng)的成像質(zhì)量和能量的傳輸效率;采用先進(jìn)數(shù)控超精密制造技術(shù)加工自由曲面光學(xué)元件,解決了自由曲面光學(xué)元件加工的技術(shù)瓶頸。開發(fā)了自由曲面控制網(wǎng)格的節(jié)點矢量的精確計算方法,以及多軸超精密數(shù)控加工光學(xué)自由曲面的自動編程及其刀具軌跡仿真系統(tǒng),建立了自由曲面三維拓?fù)漕A(yù)測模型與優(yōu)化系統(tǒng),研發(fā)了多個自由曲面測量及評估方法,并搭建了自由曲面光學(xué)設(shè)計、加工、測試一體化的集成平臺。上述核心技術(shù)有助解決國際上對復(fù)雜自由曲面光學(xué)元件在超精密加工及納米級表面測量中的關(guān)鍵技術(shù)難題。研究成果推動了超精密加工及納米測量領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)進(jìn)步。 4_# (y^ 9
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關(guān)鍵詞： 光學(xué)自由曲面； 超精密加工； 曲面測量； 光學(xué)設(shè)計； 集成系統(tǒng)
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