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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> Au工藝問(wèn)題 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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chenliang1990	2019-05-23 08:48
Au工藝問(wèn)題各位大神，請(qǐng)教一個(gè)關(guān)于鍍Au的問(wèn)題，用3M膠帶拉扯掉膜，請(qǐng)問(wèn)有大神們什么好的改善方法嗎？謝謝 \(4kEB2s$ 制程：AL2O3+Au+AL2O3-(加熱340度烘烤70分鐘）+TI3O5+SIO2 2S@aG%-) %4I13\|<A` [attachment=93436]

sgh920	2019-05-23 11:40
用鉻打底，保護(hù)用氧化鉿試試

囊中蓄乾坤	2019-06-23 09:53
按1樓說(shuō)的額試下。打底的材料換CR

holdlove1314	2019-06-23 15:06
保護(hù)的溫度太高啦產(chǎn)生膜的致密性不好

viavi1109	2019-08-23 09:40
Cr打底試試，Cr+Ni+Au

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