| 天藍(lán)色3230 |
2019-06-01 23:32 |
車削掩模的石英非球面微透鏡陣列制作方法
為解決石英非球面微透鏡陣列加工所面臨的工藝可控性差且面型精度不高這兩大難點(diǎn)，提出了一種基于車削掩模刻蝕的石英玻璃元件制作方法。該方法主要使用了單點(diǎn)金剛石車削加工技術(shù)與反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)，研究了掩模材料車削及刻蝕性能，并利用實(shí)驗(yàn)優(yōu)選出掩模材料，最后進(jìn)行了面積為5 mm×5 mm石英玻璃非球面微透鏡陣列的制備。通過實(shí)驗(yàn)結(jié)果與預(yù)期參數(shù)進(jìn)行對比，分析表明，該方法制作的石英玻璃元件誤差均方根為1.155 nm，面型精度誤差0.47%。
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