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2019-06-01 23:43 |
大口徑光學(xué)元件瞬態(tài)波前檢測(cè)
摘要:為瞬態(tài)測(cè)量大口徑光學(xué)元件波前,提出一種基于斜入射結(jié)構(gòu)的近紅外反射式錯(cuò)位點(diǎn)衍射干涉原理的 Φ400 mm 瞬態(tài)波前檢測(cè)方法。該方案將待測(cè)光分成兩束互相錯(cuò)位的參考光與測(cè)試光,從而在干涉圖中引入高線性載頻,采集到 對(duì)比度良好的干涉圖后,利用傅里葉變換相位解調(diào)法從單幅干涉圖中提取待測(cè)波前相位,實(shí)現(xiàn)瞬態(tài)波前動(dòng)態(tài)測(cè)量。實(shí) 驗(yàn)光路總長(zhǎng)近 20 m,極易受氣流的影響,且由于氣流干擾隨時(shí)間變化,該系統(tǒng)本身可以看作是大口徑光學(xué)元件瞬態(tài) 波前發(fā)生與檢測(cè)裝置。測(cè)試結(jié)果與 SID4 波前傳感器比較,波前均方根(RMS)小于 1/50 λ,可知所提方法可以實(shí)現(xiàn) 大口徑瞬態(tài)波前的高分辨率與高精度檢測(cè)。 T1\.~]-msb
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