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如何提高蒸發(fā)速率？
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xiezhizhi
2019-07-17 22:46
如何提高蒸發(fā)速率？
南光鍍膜機(jī)。直接水冷無氧銅坩堝，涉谷電子槍。鍍鍺蒸發(fā)速率只有1A/s 電子槍束流230毫安真空度1.0*10-3pa。請(qǐng)問如何提高蒸發(fā)速率。
ouyuu
2019-07-17 23:06
速率是晶控控制的。調(diào)晶控參數(shù)
lilisrlhj
2019-07-19 11:18
鍺料經(jīng)常會(huì)遇到這種狀況，多數(shù)增加蒸發(fā)功率也無法達(dá)到需要的蒸發(fā)速率，建議從電子槍和坩堝入手檢查，建議換小口徑的坩堝材料用石墨的比較合適。
囊中蓄乾坤
2019-07-20 18:39
沒有鍍過，來學(xué)習(xí)的。
淡小疼
2019-07-21 22:59
換個(gè)材料的坩堝
opticsrain
2019-07-28 11:17
晶控參數(shù)和電子槍功率的改變不管用的話，可以調(diào)整電子束掃描范圍試試。
xiezhizhi
2019-08-06 23:44
7}2sIf[I
石墨坩堝解決問題
wqc1987
2020-05-11 22:36
請(qǐng)問樓主，用石墨坩堝濺料嗎，我使用石墨6A速率跟放花一樣，不知道石墨和鍺料誰的問題，望樓主點(diǎn)撥一二，不勝感激
renlgj
2024-08-22 22:38
跟著學(xué)習(xí)吧
linan5352633
2024-12-06 10:27
新接觸，學(xué)一下
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