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光行天下 -> 光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)測(cè)量與光機(jī)裝調(diào) -> 大口徑大曲率半徑光學(xué)元件的高精度檢測(cè) [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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天藍(lán)色3230

2019-10-26 22:40

大口徑大曲率半徑光學(xué)元件的高精度檢測(cè)

摘要：針對(duì)目前已有的光學(xué)檢測(cè)設(shè)備無(wú)法實(shí)現(xiàn)大口徑大曲率半徑光學(xué)元件高精度檢測(cè)的問(wèn)題，提出利用長(zhǎng)程輪廓儀（ LTP）來(lái)進(jìn)行大口徑大曲率半徑（正、負(fù)）光學(xué)元件的精確測(cè)量，并通過(guò)實(shí)驗(yàn)證明了LTP檢測(cè)大曲率半徑光學(xué)元件的優(yōu) 勢(shì)。分析計(jì)算LTP測(cè)量曲率半徑的算法精度，設(shè)計(jì)了合理的機(jī)械結(jié)構(gòu)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)測(cè)量，得到了全口徑的曲率半徑分布。最后與球徑儀、刀口儀的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比。對(duì)R=37.108m和R=41.065m的球面鏡測(cè)量結(jié)果顯示， LTP的測(cè)量重復(fù)性在0.05%以?xún)?nèi)，與球徑儀、刀口儀的測(cè)量值相差均在0.05%以?xún)?nèi)。研究結(jié)果表明，LTP可以用來(lái)解決目前幾十米的大R曲率半徑光學(xué)元件難以高精度測(cè)量的難題。