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2020-03-06 11:20 |
全視場外差白光干涉測量技術(shù)
摘要：為了解決傳統(tǒng)白光干涉測量技術(shù)中對線性位移機構(gòu)的位移精度要求過高的問題，本文提出了一種全視場外差白 光干涉測量技術(shù)。該技術(shù)主要通過使用存在差頻的白光干涉信號作為光源來實現(xiàn)在大掃描步長和低掃描精度條件下相 干峰位置的高精度檢測。本文首先建立了白光外差干涉的數(shù)學(xué)模型，再根據(jù)數(shù)學(xué)模型提供的光強信號特性提出了整體 系統(tǒng)設(shè)計方案，然后對測量方案的可行性進行了實驗驗證。最后針對多種誤差對算法計算精度的影響進行了理論分析 和數(shù)據(jù)對比。誤差分析的結(jié)果表明：白光外差干涉測量技術(shù)提供更高的測量精度和更好的抗干擾性能，有效地降低了 傳統(tǒng)白光干涉測量對線性位移機構(gòu)精度的嚴(yán)苛依賴，為光學(xué)自由曲面檢測技術(shù)提供了更多的可選解決方案。 +5p{5 q(o
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關(guān)鍵詞：外差干涉測量；白光干涉測量；干涉測量算法
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