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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 目前工藝介質(zhì)膜厚精度能到多少？ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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alien21	2020-03-20 15:18
目前工藝介質(zhì)膜厚精度能到多少？想咨詢一下，以目前的鍍膜工藝水平，蒸鍍和濺射方法鍍制介質(zhì)膜，膜厚精度分別能到多少? 膜系總厚在100nm左右。 ;uZeYY?

alien21	2020-03-20 16:05
求教，有人嗎

ouyuu	2020-03-20 16:40
你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ .H&XPW 物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。

morningtech	2020-03-20 19:47
晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系，工藝好點(diǎn)， 2%~3%的也能應(yīng)付。 AmCymT3Pe 再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 {9Q*U`w 鍍膜更重要的是重復(fù)性。

alien21	2020-03-21 09:56
ouyuu:你要的精度指的是光學(xué)膜厚精度還是物理膜厚精度？ !_iv~Q zv 物理膜厚精度由水晶片的精度決定，光學(xué)膜厚精度由光控的精度決定。 (2020-03-20 16:40) &hM7y7 ))7CqN 謝謝！物理膜厚精度，

alien21	2020-03-21 09:56
morningtech:晶控能應(yīng)付常規(guī) 5%左右精度要求的膜系，工藝好點(diǎn)， 2%~3%的也能應(yīng)付。 (543`dqAmC 再提高，0.5%準(zhǔn)確度比較難了。 =tGRy@QV'\ 鍍膜更重要的是重復(fù)性。 (2020-03-20 19:47) 5>VX]nE3!