使用SFIT命令對非球面數(shù)據(jù)擬合
SFIT Surface fit to data 當(dāng)您想要表面的面型與（X，Y，Ｚ）坐標(biāo)（如：由數(shù)字化干涉圖產(chǎn)生的）相匹配時，SYNOPSYS可以計算曲面建模所需的系數(shù)。在程序中獲得的大部分表面面型都能夠匹配。（如果面型時旋轉(zhuǎn)對稱的，您也可以用CSAG，輸入更簡單）。 輸入是： [attachment=99432] !`hjvJryw
1`r
4
必須在第二行輸入所需的面型以及表面編號。在這個輸入中，面型是下面的其中之一： [attachment=99436] [attachment=99437] >,Zjlkh3
?ah-x""Y
這里給出22項冪級數(shù)多項式（R是軸向曲率半徑）：
[attachment=99435] l|^p;z: d
E< "aUnI
Kjc"K36{L
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Zernike多項式： $`.7XD}
[attachment=99433] 'W3>lAPx!
[attachment=99434] *4Y1((1k
m ,,-rC
$GNN* WmHw
y/h~oGxy
如果包含[L]，則假定DZ變形輸入與鏡頭單位相同。如果在單詞２中存在任何其他條目或空白，則假定DZ信息處于主波長的波形中。可選輸入D是一個阻尼因子，可用于防止在變形輸入低于多項式約束時出現(xiàn)奇異性，該阻尼因子通過最小二乘法求解。但是最好輸入足夠大的變形數(shù)組來過度約束解。 b/5?)!I
SN是數(shù)據(jù)將被分配到的表面編號。可選輸入APS是參考孔徑，可被Zernike系數(shù)使用，其在該孔徑上是正交的（默認(rèn)是單位圓），也可被USS面型使用；APD是全孔徑干涉圖上的尺寸。 如果APS不等于APD，則（X，Y）干涉圖坐標(biāo)將自動縮放，以使APD處的位置變得等于APS。 如果在DEF之前打開switch 13，則還會生成輸入文件列表和使用系數(shù)計算的變形表，該列表可以與原始輸入數(shù)據(jù)進(jìn)行比較，以檢查曲線擬合的精度。 Mi,yg=V
請注意，任何曲線擬合程序必須處理兩個相互矛盾的要求：您想要擬合盡可能準(zhǔn)確，同時您總是給出不準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。物理測量，或數(shù)字化干涉圖的結(jié)果，只有有限的精度。由于這些沖突，準(zhǔn)確復(fù)制所有輸入數(shù)據(jù)點的曲線可能會顯示明顯的振蕩。也就是說，這些數(shù)據(jù)點之間的曲線可能是劇烈振蕩的，而這些點本身非常準(zhǔn)確。 {'E%SIRZ)
處理這種沖突通常由兩種辦法。第一種是給出輸入設(shè)置的阻尼因子。該參數(shù)的作用是根據(jù)系數(shù)的大小來控制擬合：較大的阻尼產(chǎn)生較低的系數(shù)和較平滑的曲線。擬合點在輸入點處可能不那么準(zhǔn)確，但這些點之間的振蕩較少，結(jié)果可能比輸入數(shù)據(jù)更準(zhǔn)確。第二種方法，適用于Zernike擬合，即給出比實際CAO稍大的單位孔徑尺寸。這使得程序使用多項式擬合數(shù)據(jù)，其中所有空間波長與較小的實際孔徑相比較大。結(jié)果再次減小響應(yīng)。您將不得不嘗試這些方法，檢查RSS擬合誤差和擬合平滑度，如PUPIL或SPROFILE功能顯示。 請注意，以前的版本中使用命令DEF，ZERNIKE和ZE4.這些格式仍然可用，但建議您使用新格式。 >y"W(
這里給出一個實例： |