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2020-04-25 22:55 |
大口徑非球面系統(tǒng)的共基準(zhǔn)加工與檢驗(yàn)
摘要：針對(duì)大口徑離軸非球面系統(tǒng)加工與裝調(diào)的難點(diǎn)，提出了非球面光學(xué)系統(tǒng)共基準(zhǔn)加工與檢測(cè)的方法，對(duì)該方法的基本原理和實(shí)現(xiàn)過程進(jìn)行了分析和研究。當(dāng)光學(xué)系統(tǒng)的主鏡和第三鏡面形的RMS值優(yōu)于λ/10（λ=632.8 nm）時(shí)，對(duì)主鏡和第三鏡進(jìn)行共基準(zhǔn)裝調(diào)和測(cè)試，并進(jìn)行背板一體化裝嵌，然后利用離子束對(duì)其進(jìn)行一體化共基準(zhǔn)加工。結(jié)合工程實(shí)例，對(duì)一大口徑非球面系統(tǒng)口徑為724 mm×247 mm的非球面主鏡和口徑為632mm×205 mm的第三鏡進(jìn)行了共基準(zhǔn)加工與檢測(cè)，最終利用離子束共基準(zhǔn)一體化精拋光得到主鏡和第三鏡面形的RMS值分別為0.019λ和0.017λ，滿足光學(xué)成像。 yh rjML2K
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關(guān)鍵詞：光學(xué)加工；光學(xué)檢測(cè)；非球面；三鏡消像散系統(tǒng)；共基準(zhǔn)；離子束加工
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