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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> 鍍膜材料校準(zhǔn)因子如何算？ [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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gmss1111	2020-04-27 00:17
鍍膜材料校準(zhǔn)因子如何算？小弟剛?cè)腴T(mén)鍍膜行業(yè)，請(qǐng)教下如何計(jì)算鍍膜材料的tooling，比如說(shuō)校準(zhǔn)sio材料，在鍺基片上鍍膜，鍍了350nm，膜系軟件在1800nm和3400nm出現(xiàn)兩個(gè)峰，到底選哪個(gè)，怎么計(jì)算啊。 LH(P<k&

morningtech

2020-04-27 08:53

為修正產(chǎn)品與監(jiān)控片厚度差異而設(shè)定的一個(gè)參數(shù)，用光控時(shí)老師把它叫作比例系數(shù)，
晶控上寫(xiě)作Tooling Factor，有人簡(jiǎn)稱(chēng)它tooling，有人直譯為工具因子，膜林晶控儀上寫(xiě)作比例因子(最初聽(tīng)到工具因子時(shí)不知所云，雖慢慢耳熟，仍要改)。
理想情況下，有了正確的tooling值，晶控儀上設(shè)定的膜層厚度和蒸鍍上樣品的膜層厚度就統(tǒng)一為設(shè)計(jì)厚度了。

定義上，晶控Tooling Factor = 樣品(鍍膜產(chǎn)品)上實(shí)測(cè)膜層物理厚度/晶振片上膜層物理厚度 × 100%
假定工藝不變情況下，第一次鍍膜時(shí)的Tooling值T1不夠準(zhǔn)確，樣品實(shí)測(cè)厚度與設(shè)計(jì)厚度有偏差，需要修正。
修正值 T2 = T1 * 樣品實(shí)測(cè)厚度/設(shè)計(jì)厚度

先思考一下，把你問(wèn)題中的參數(shù)看怎么對(duì)應(yīng)到上面式子里。

雨天帶著傘	2020-04-27 10:11
+1------

17873333033	2020-04-27 10:21
2樓講解的很詳細(xì)，謝謝大師，我這里有高純度SIO2便宜處理，由于今年訂單減少，大量高優(yōu)質(zhì)材料虧本出售。請(qǐng)給實(shí)體行業(yè)一點(diǎn)支撐。17873333033

ouyuu	2020-04-30 10:29
自己用TFC擬合吧，先把sio2膜厚設(shè)定到350nm，然后慢慢減少，到和你實(shí)際的圖像重合。