| 飛躍小河 | 2020-04-27 17:46 |
光學(xué)薄膜分析與設(shè)計(jì)軟件Essential Macleod Essential Macleod核心模塊的功能 •計(jì)算給定膜系的特性 •對(duì)給定特性目標(biāo)要求優(yōu)化膜系設(shè)計(jì) •維護(hù)材料的光學(xué)常數(shù) •對(duì)已有設(shè)計(jì)進(jìn)行分析 •膜系設(shè)計(jì)的合并分析 Essential Macleod可擴(kuò)展的功能 Runsheet 這個(gè)工具可設(shè)計(jì)鍍膜制程，包含機(jī)器配置編輯器以及跑單生成器。機(jī)器配置中貯存了鍍膜機(jī)的詳細(xì)設(shè)置，材料源以及制具因子（Tooling）以及監(jiān)控系統(tǒng)。使用者可使用跑單生成器對(duì)既定的機(jī)器配置，進(jìn)行鍍膜設(shè)計(jì)的監(jiān)控規(guī)劃。該工具除了可同時(shí)具備光學(xué)與晶體監(jiān)控功能外，還具備諸如動(dòng)態(tài)加工因子和系統(tǒng)帶寬等高級(jí)特性。 Simulator 對(duì)于公差問(wèn)題， Simulator 通過(guò)蒙特卡羅（Monte Carlo）法在實(shí)際模型控制過(guò)程的擴(kuò)展來(lái)進(jìn)行解決。通過(guò)一個(gè)由 Runsheet 創(chuàng)建的控制計(jì)劃， Simulator 可模擬薄膜淀積控制，引入隨機(jī)和系統(tǒng)效應(yīng)，例如信號(hào)噪聲，加工因子的變動(dòng)，封裝密度誤差等等，以及顯示這些參數(shù)對(duì)于鍍膜制程的最終模擬結(jié)果的效應(yīng)。 Monitorlink Monitorlink提供將Runsheet連結(jié)到一個(gè)淀積控制器的額外軟件。一個(gè)獨(dú)立的程序與控制器直接連接，而且一個(gè) Runsheet 的擴(kuò)展也賦予其產(chǎn)出和編輯淀積程序的功能。 VStack VStack 是一種計(jì)算與優(yōu)化的工具﹐它也能計(jì)算這些系統(tǒng)中斜射光的效應(yīng)。當(dāng)光束斜入射時(shí)，初始為 p- 偏振態(tài)的光線最終會(huì)以 p - 偏振態(tài)從系統(tǒng)出射。同理，原本是 s - 偏振態(tài)光也會(huì)以 p - 偏振態(tài)出射，我們稱此為 偏振泄漏 (polarization leakage) 現(xiàn)象。 VStack 能計(jì)算泄漏的大小而且提供泄漏元件的 Delta 值。 Function 一些法向反射﹑透射，或是相位的計(jì)算通常需要非常龐大的計(jì)算量才能求得結(jié)果。電子數(shù)據(jù)表并不是一種合適的解法，一方面因?yàn)樗环奖氵M(jìn)行插值操作，另一方面在處理不同數(shù)量的數(shù)據(jù)組字時(shí)會(huì)有困難。但 Function 可以完全自動(dòng)計(jì)算，其簡(jiǎn)單宏指令中的操作 ( 具有內(nèi)建的編輯器和語(yǔ)法檢查器 ) 能允許一再重復(fù)相同的計(jì)算。 DWDM Assistant DWDA Assistant 可自主設(shè)計(jì)一組多腔濾波片，以滿足用戶的不同規(guī)格，設(shè)計(jì)結(jié)果可以根據(jù)一些諸如總厚度、預(yù)計(jì)淀積時(shí)間等等規(guī)范排序。 | |