| gangzi0801 |
2020-05-02 11:05 |
簡述光刻機(jī)投影物鏡的幾種減振方案
摘要：振動是影響光刻機(jī)投影物鏡動態(tài)穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素，決定了投影光刻機(jī)的主要性能。簡述了消除或抑制投影物鏡振動的兩種方案，即一體式主動減振方案和采用壓電陶瓷驅(qū)動的柔性支撐兩級主動減振方案。通過在實際中應(yīng)用表明，后一種減振方案可以實現(xiàn)亞微米甚至納米級的定位精度及穩(wěn)定性。 qcWY8sYf
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關(guān)鍵詞：光刻機(jī)；投影物鏡；壓電陶瓷；主動減振
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