| 200713 |
2020-05-09 13:42 |
非球面曲面光學零件超精密加工裝備與技術
摘要：Nanosys-300非球面曲面超精密復合加工系統是“九五”重點預研課題 —“非球面曲面的超精密加工與測量技術”的主要研究成果。重點對非球面曲面光學零件超精密加工機床，非球面曲面光學零件超精密加工工藝，非球面曲面光學零件超精密測量技術進行了研究。其主要技術成果有：非球面超精密復合加工系統綜合設計和制造技術，高速超精密空氣靜壓主軸系統，超精密閉式液體靜壓導軌系統，高速超精密空氣靜壓磨頭電主軸系統，開放式高性能數控系統集成技術等。系統的精度檢測和工藝實驗表明其研究水平進入了國際先進行列。 k Y'<u
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關鍵詞：非球面；超精密；加工；測量
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