| 飛躍小河 | 2020-05-26 16:38 |
小型光學粗糙度傳感器Horos 1.Horos—光學粗糙度傳感器。 2.測量樣本。 3.鉆石旋轉(zhuǎn)加工表面的測量結(jié)果。 4.Horos—光學材料粗糙度傳感器以及白光干涉儀測量結(jié)果比較 （樣本：1.-Mo/Si-鏡子，2-Ti-膜，3-鉆石旋轉(zhuǎn)法下Al-表面）。 系統(tǒng)簡介 隨著光學技術(shù)不斷地發(fā)展，對于光學材料或光學薄膜的表面性能測量的需求也日益增多。horos傳感器可直接測量表面粗糙程度。它具有非接觸式測量，快速測量的特點。并且它的體積小便于移動。被測樣本的規(guī)格從機械零件到具有納米結(jié)構(gòu)的光學表面均可。 特征及技術(shù)參數(shù) - 可測量參數(shù)：粗糙度相關(guān)一系列值 （例如PSD，傾斜度等等），3D下散射光分布，檢測是否各項同性等。 - 靈敏度R_q<0.5 nm - 測量時間： < 1 s。 - 與輪廓儀直接相連——測量結(jié)果可直接比較。 | |