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光行天下 -> ZEMAX,OpticStudio -> 如何分析部分干涉成像系統(tǒng) （光刻機(jī)成像系統(tǒng)） [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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markborn

2020-06-28 18:40

如何分析部分干涉成像系統(tǒng) （光刻機(jī)成像系統(tǒng)）

如何分析部分干涉成像系統(tǒng) （光刻機(jī)系統(tǒng)）

在光刻應(yīng)用中，所使用的光源不是完全相干的，如何在晶片上分析部分相干成像系統(tǒng)中的掩模?
在這里給大家分享一個(gè)案例，希望可以幫到大家。

這里是一步一步的如何在ZEMAX 中操作：https://sot.com.sg/coherent-imaging/