干涉光學(xué)測(cè)試
光學(xué)干涉裝置廣泛用于精密的表面或波前測(cè)試和細(xì)節(jié)分析,特別是菲索干涉儀作為工業(yè)上應(yīng)用最廣泛的表面輪廓檢測(cè)技術(shù)之一,正占據(jù)著重要的地位。我們?cè)赩irtualLab Fusion中構(gòu)建了一個(gè)基于斐索干涉儀的測(cè)試光學(xué)系統(tǒng),使用幾種類(lèi)型的表面作為測(cè)試對(duì)象,并觀察不同的干涉條紋。此外,還介紹了用于鏡頭測(cè)試的馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x。 =m/BH^|&W @0fiui_
用于光學(xué)測(cè)試的菲索干涉儀 sg8j}^VI +.IncY8C$ 利用非序列場(chǎng)追跡技術(shù)建立了菲索干涉儀,給出了不同測(cè)試表面的干涉條紋。 ^9
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馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x *s6(1S ^ SW!S_&Z2 我們?cè)赩irtualLab Fusion中構(gòu)建了馬赫-曾德?tīng)柛缮鎯x,并演示了元件的傾斜和偏移對(duì)干涉條紋的影響。 U%l<48@8 %%^by gbjql+Mx+ QQ:2987619807 N5Ih+8zT
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