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infotek

2020-10-16 10:08

檢查微型晶片的光學(xué)系統(tǒng)

成像系統(tǒng)>包括光柵

任務(wù)/系統(tǒng)說明

亮點(diǎn)

 在復(fù)雜光學(xué)系統(tǒng)中，包含光柵（如，非常大的數(shù)值孔徑(NA)）
 嚴(yán)格分析光柵衍射效率
 考慮入射光的方向分布

說明：光源

說明：光束分束器

說明：檢測透鏡系統(tǒng)