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柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化
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infotek
2020-11-30 10:04
柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化
案例190(3.0)
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該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外,對圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。
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