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infotek 2020-11-30 10:04

柱型抗反射結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化

案例190(3.0) btC 0w^5  
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該應(yīng)用案例描述了具有亞波長結(jié)構(gòu)尺寸的柱型抗反射光柵的嚴(yán)格分析以及一個兩步優(yōu)化。此外,對圓柱直徑與高度的影響進(jìn)行了分析。 K +oFu%  
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1. 建模任務(wù) Kp +Lk  
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