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光行天下 -> 光學(xué)薄膜設(shè)計(jì),工藝與設(shè)備 -> PC基材上鍍ITO和AR膜，出現(xiàn)ITO和AR膜裂 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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jimmy_	2020-12-23 14:04
PC基材上鍍ITO和AR膜，出現(xiàn)ITO和AR膜裂 PC基底硬化后進(jìn)行冷鍍ITO和AR膜，905nm增透，后工序100℃烘烤2h后ITO和AR（SiO2和TiO2）膜均出現(xiàn)了開裂。 ^=-25%&^ 請(qǐng)教下各位大佬，如何進(jìn)行工藝改善？

jimmy_	2020-12-26 11:47
路過(guò)的大佬請(qǐng)指導(dǎo)一下，謝謝

ouyuu	2021-01-16 01:03
你設(shè)備有鹵素?zé)艏訜釂幔縋C鍍膜最好用鹵素?zé)艏訜?

ouyuu

2021-01-16 17:25

膜裂原因有很多。
有些是溫度的影響，有些是吸水的影響。

PC上鍍膜最好鍍一個(gè)打底層，如SIO2或者AL2O3打底，對(duì)膜裂會(huì)有很大的改善。
另外如果可以的話用離子源輔助鍍膜，也會(huì)對(duì)吸水造成的膜裂會(huì)有改善。
但是離子源會(huì)造成溫度升高，所以要注意條件。

實(shí)驗(yàn)要多做，各種條件都做一下。
具體情況具體分析，有時(shí)候設(shè)備不好也會(huì)造成問題的。
并不是所有問題都可以用工藝解決的。

jimmy_

2021-01-26 17:38

ouyuu:膜裂原因有很多。 JGhK8E
有些是溫度的影響，有些是吸水的影響。 FhEfW7]0,
PC上鍍膜最好鍍一個(gè)打底層，如SIO2或者AL2O3打底，對(duì)膜裂會(huì)有很大的改善。 ~-yq,x
另外如果可以的話用離子源輔助鍍膜，也會(huì)對(duì)吸水造成的膜裂會(huì)有改善。 33"!K>wC
....... (2021-01-16 17:25) Zwtz )ZII

多謝專家的指導(dǎo)，我們?cè)衮?yàn)證一下！
另外請(qǐng)問專家有沒有硬化液推薦的，PC硬化后再鍍膜的方案我們也想驗(yàn)證一下。
謝謝！

zhongjiagang

2021-02-08 09:19

PC鍍膜的要注意以下幾點(diǎn)：
1. 打底層最好用TiO2，厚度要＞10nm，不要用SiO2和Al2O3打底，效果不好，百格易NG；
2. 機(jī)器不要加熱，離子源的能量要設(shè)計(jì)成一個(gè)漸變的過(guò)程，一般我的經(jīng)驗(yàn)是：前2層的離子源能量是后面層的80%；
3. 如果機(jī)器有2次電子捕捉器一定要裝上，并且每爐清潔；
4. 整個(gè)鍍膜后的溫度控制在70~80℃。

chenenlin

2021-03-15 22:48

zhongjiagang:PC鍍膜的要注意以下幾點(diǎn)： l.SoiFDd
1. 打底層最好用TiO2，厚度要＞10nm，不要用SiO2和Al2O3打底，效果不好，百格易NG； mw${3j~&
2. 機(jī)器不要加熱，離子源的能量要設(shè)計(jì)成一個(gè)漸變的過(guò)程，一般我的經(jīng)驗(yàn)是：前2層的離子源能量是后面層的80%； _s0;mvz'
3. 如果機(jī)器有2次電子捕捉器一定要裝上，并且每爐清潔； Yc>.P
4 .. (2021-02-08 09:19) kK]L(ZU+

經(jīng)典回復(fù)

補(bǔ)充一個(gè)，就是材料本身，我驗(yàn)證了很多PC材料，和材料也是有關(guān)系的！

sosjinyan	2021-03-26 16:21
ITO 膜能用電子槍鍍膜嗎？看資料是磁控濺射鍍膜

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