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infotek

2021-02-23 11:20

用于光學檢測的斐索干涉儀

摘要 L3wj vq^
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斐索干涉儀是工業(yè)上常用的一種光學測量儀器，常用于高精度的光學表面質(zhì)量檢測。利用VirtualLab Fusion的非序列追跡技術(shù)，我們建立了斐索干涉儀，并將其用于測試不同的光學表面，如柱面和球面，可以發(fā)現(xiàn)由此產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓很敏感。