高數(shù)值孔徑(NA)物鏡的聚焦分析

高NA物鏡廣泛用于光刻，顯微等技術(shù)。因此，聚焦仿真中考慮光的矢量性質(zhì)至關(guān)重要。VirtualLab可以非常便捷地對此類鏡頭進(jìn)行光線追跡和場追跡分析。通過場追跡，可以清楚地觀察由于矢量效應(yīng)引起的聚焦光斑失對稱現(xiàn)象。利用相機(jī)探測器和電磁場探測器能夠?qū)�聚焦區(qū)域進(jìn)行靈活全面的研究，進(jìn)而加深對矢量效應(yīng)的理解。 wU>Fz*  
3}!u8,P  
d
f$.gP  

2. 建模任務(wù) #-@Uq6Y  
G;flj}z  

3. 概述 ^8_yJ=~V  
#Tei0B7  
.|^Gde  
 示例系統(tǒng)包含了高數(shù)值孔徑物鏡 mvK^')  
 下一步，我們將闡述如何遵循VirtualLab中推薦的工作流程執(zhí)行示例系統(tǒng)的仿真。 0FtwDM))  
c8YbBdk'