Edge Filter
Design Tool中，EdgeFilter的功能是可以用來幫助設計邊緣濾波器的結構。一個簡單的邊緣濾波器是基于四分之一堆棧的，在基板和入射介質旁邊的幾個匹配層可以用來抑制通帶波紋。當傾斜時，高反射率區(qū)的寬度對S偏振光有增大的趨勢，對P偏振光有減小的趨勢，導致偏振分離。四分之一波長堆棧不容易得到顯著改善，但是Thelen 已經(jīng)表明五層對稱周期是可以作為邊緣濾波器的基礎的，其中p和s偏振邊緣可以重合。嚴格來說，這只是在一個入射角，但經(jīng)驗表明，在一定角度范圍內分裂非常小。邊緣濾波器工具可以找到這樣一個對稱的周期，并設計一個非偏振邊緣濾波器。該工具使用迭代技術來識別所有可能的組合，并找到通帶寬度和禁帶寬度的最佳組合，但是后者受到一定限制。 S~)w\(r
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圖1顯示了參數(shù)對話框。設置了兩種材料的五層周期，入射角，入射介質和周期數(shù)。該工具沒有解決紋波問題，如圖2所示。在這里，用SiO2當最外層最好。最后一步是鎖定所有層，然后對一些最外層進行優(yōu)化以減少波紋。在這種特殊情況下，每側的12個層都經(jīng)過了優(yōu)化，以得到圖3中的性能。 SEM8`lnu
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圖1.參數(shù)對話框，幾乎沒有必要更改搜索限制或搜索間隔 }`o? /!X
圖2.紋波消除前45°入射的原始結果 /L v1$~
圖3.45°入射時最終的169層設計 c%f_.MiU
該工具的另一個功能是將公式插入到了編輯菜單的Formula對話框中，這樣就不必返回到Edge Filter對話框來更改重復次數(shù)。 >72JV; W]
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