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全場光學相干掃描干涉儀
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infotek
2021-03-18 09:44
全場光學相干掃描干涉儀
摘要
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掃描干涉儀是用于執(zhí)行表面高度測量的技術。 通過利用白光光源的低相干性,僅當光程長度差在相干長度內時才會出現干涉圖樣。 因此,它可以實現精確的顯微鏡測量。在本案例中,氙氣燈和邁克爾遜干涉儀被構建并用于測量表面平滑變化的樣品。
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建模任務
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